無油真空泵的選擇介紹
2019-05-22 關注次數：無油真空泵的選擇介紹：
1.無油真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的Ji限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度Zhi少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。
2.正確地選擇無油真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。
3.無油真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
